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OSAKA涡轮分子泵TG-F系列由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内,附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而,由于叶片的倾斜角度和旋转,分子飞入下一层,并且容易穿过定子叶片再向下。 同时,从下层飞入并通过固定叶片后逆行的气体分子,也能通过与转子叶片碰撞再次飞到下一层。
更新时间:2025-01-07CONTACT
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