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为使溅射系统所用靶的数量减少，尽量用一个靶就能溅射沉积制取符合成分及性能要求的合金薄膜，可以采用合金靶、复合镶嵌靶、以及采用多靶溅射等。一般说来，在放电稳定状态下，按照靶的成分，各种构成原子分别受到溅射作用，溅射镀膜比真空蒸镀和离子镀的一个...
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